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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用（高端集成电路制造工艺丛书）
金属蚀刻工艺及实例
等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
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非全新 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 第2版 张海洋等编著 清华大学出版社
