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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用（高端集成电路制造工艺丛书）
金属蚀刻工艺及实例
等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用张新宇国防工业出版社9787118122848 电子
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非全新 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 第2版 张海洋等编著 清华大学出版社
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